1,
1151,
322561,
77804927,
18441371521,
4362177487103,
1031604648750721,
243956176247197439,
57691129318533331201,
13642881737636932788095,
3226288287823504038547201,
762957289369003803230524031,
180425235804902304989708050561,
42667218947849646648154784606207,
10090005229092353680064950688603521,
2386098931066260342347317463798390783,
564268102896435803500419919695427499521,
133438931555138366442261742721580823624319,
31555830221799611251211719988726407703616001,
7462368061419757325356410256230922161375278975,
1764711519002521478252509443529832101102169635201